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特气系统知识分享|特种气体存放及使用

宣布时间：2022-10-19 | 游览：4537

内容摘要：特种气体(Specialty gas )主要有 SiH4、PH3、B2H6、A8H3、CL、HCL、CF4、NH3POCL3、SIH2CL2、 SIHCL3、NH3、BCL3、SIF4、CLF3、CO、C2F6、N2O、F2、HF、HBR、SF6……等等大部分是侵蚀性、毒性、燃烧性的气体。

特种气体(Specialty gas )主要有 SiH4、PH3、B2H6、A8H3、CL、HCL、CF4、NH3POCL3、SIH2CL2、 SIHCL3、NH3、BCL3、SIF4、CLF3、CO、C2F6、N2O、F2、HF、HBR、SF6……等等大部分是侵蚀性、毒性、燃烧性的气体。

针对侵蚀性、毒性、燃烧性的气体，通常设计将钢瓶置于特气柜(Gas Cabinet)内，再通过管道将气体供应至现场周围的阀门箱(VMB, Valve Manifold Box)，此后再进入制程机台的使用点(POU, Point of Use)，于进入机台腔体之前，会有自力的气体控制盘(GB, Gas Box)与制程控制� ？榱�，以质流流量计控制器(MFC, Mass Flow Controller)举行流量之控制与进气的混淆比例控制，通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计领域，而是归属制程机台装备的一部份。一样平常的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀门盘(VMP, Valve Manifold Panel)举行供应。

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